SMIC выпускает 5-нм чипы без EUV-литографии

24 апреля 2025 года в сети начала появляться информация, что крупнейший китайский чипмейкер SMIC смог наладить производство процессоров по 5-нм техпроцессу без использования новейшего западного оборудования. Вместо EUV-литографов SMIC применила комбинацию технологий DUV и SAQP.

Китайская компания SMIC давно находится в санкционном списке США, вследствие чего чипмейкер не может получать передовое оборудование для производство наиболее современных техпроцессов, вроде EUV-литографов. Ранее SMIC уже удалось совершить прорыв, выпустив 7-нм кристаллы на устаревшем оборудовании, после чего в сети появились слухи, что компания уверенно продвигается к созданию 5-нм кристаллов, что впоследствии подтвердилось. Для создания 5-нм кристаллов SMIC применила технологию литографии глубоким ультрафиолетом DUV в сочетании с четырехэтапным методом Self-Aligned Quadruple Patterning (SAQP), разработанным компанией Huawei. Ранее выпуск 5-нм чипов без применения EUV считался невозможным. В отличие от EUV-литографии, метод SMIC требует больше времени на изготовление кристаллов, а стоимость их производства увеличивается, при этом также возрастает риск появления брака. 

Несмотря на все сложности и недостатки, SMIC взяли доступные технологии на вооружение и будут работать над созданием 5-нм процессоров для китайского высокопроизводительного оборудования. Это событие может стать не только прорывом для индустрии микроэлектроники в Китае, но и поставить под сомнение лидерство Тайваня и США в этой отрасли. Особенно удивляет тот факт, что Китаю удалось достичь таких высот в условиях жестких санкционных ограничений со стороны США, которые не отбросили развитие технологий страны назад, а лишь запустили подстегнули китайских ученых и инженеров делать одно важнейшее открытие за другим. К примеру, на следующий день после ввода запрета на поставку ускорителей Nvidia H20 в Китай, компания Huawei представила собственные решения Ascend 920, произведенные по 6-нм техпроцессу с использованием той же DUV-многоступенчатой литографии. Новый китайский ИИ-ускоритель выдает до 900 TFLOPS в режиме FP16 и обладает пропускной способностью памяти до 4 ТБ/с. После таких достижений, многие пользователи предположили, что благодаря экспериментам с технологией SAQP, SMIC уже в ближайшее время может выйти даже к 3-нм техпроцессу.

Несмотря на то, что 5-нм от SMIC может уступать по энергоэффективности и стоимости аналогичному техпроцессу от TSMC, новая технология гарантированно будет пользоваться огромным спросом среди крупных китайских компаний, например, Huawei, которая будет интегрировать 5-нм чипы в свои ИИ-ускорители Ascend. Тем не менее, к новости стоит отнестись с долей скепсиса, поскольку популярные чипмейкеры измеряют размеры своих техпроцессов по-разному. Возможно, SMIC назвала свой новый техпроцесс 5-нанометровым исключительно в целях устрашения Запада, но как-либо доказать это невозможно.